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renishaw激光干涉仪在数控机床的两大应用,你了解多少?

点击次数:513 发布时间:2021-01-04
  renishaw激光干涉仪可用于数控机床、大规模集成电路加工设备等的定位精度测量、误差修正和控制。激光干涉仪的特点是在具有强大的排除干扰能力的情况下还具有非常高的精度,其分辨率可以达到纳米级,从而可以大大提高制造领域的制造精度。
  
  与传统的检定方法相比,激光干涉仪具有较高的精度和效率,并能及时处理数据,为数控机床误差修正提供依据。激光干涉仪与不同光学附件结合,可以测量距离、直线度、垂直度平行度、平面度。由于仪器为模块化结构,安装位置灵活,便于分析机床误差来源:而且测量时可以在工作部件运动过程中自动采集数据,更接近机床的实际使用状态。
  
  位置精度是机床的重要指标,目前各国机床检定标准中都推荐使用激光干涉仪。因此,用激光干涉仪检测机床各项误差是一种用传统测量手段难以实现的技术。
  
  renishaw激光干涉仪在数控机床的应用
  
  一、直线度测量
  
  1、沿水平轴直线度测量,激光器发射出的光束穿过中间的直线度干涉镜,分为两束同频的光源,通过直线度反射镜反射汇聚到干涉镜,再返回激光器。此种测量方法,可以检测出干涉的光波在直线度干涉镜移动的方向上产生多少偏差,可以用来调试设备。
  
  2、沿垂直轴直线度测量,将激光干涉仪水平光束转换成垂直光束。
  
  二、线性测量
  
  renishaw激光干涉仪是高精度的线性位移测量仪器,其光波可以直接对米进行定义,可以定位精度、重复定位精度、反向间隙等多项检测机床轴的精度指标,需要用到一个各线性分光镜和两个线性反射镜。
  
  新机床大多使用激光干涉仪进行定位精度和重复定位精度以及反向间隙的检测,机床使用一段时间后,由于丝杠的磨损和其它原因,精度会逐渐丧失,也需要使用renishaw激光干涉仪进行精度的再校准。
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