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使用renishaw激光干涉仪时应该注意的几个要点

点击次数:312 发布时间:2021-03-16
  renishaw激光干涉仪是利用激光作为长度基准,对数控设备的位置精度、几何精度进行精密测量的高精度测量仪器。仪器测量的是距离、以及衍生出来的平行度、垂直度、直线度、圆度,测量的精度可高达0.2微米/米,但同时对环境也较为挑剔。
  
  激光精度受环境影响较大,极高的测量精度必须依靠较为稳定车间环境,所以激光干涉仪要得出真实的测量数据必须和机床充分预热,车间环境也参考仪器使用的环境。
  
  激光干涉仪初步调整后,固定分光镜并在分光镜上安装光靶,通过“整体”调整瞄准光靶后,取下分光镜光靶,将Z轴升高,观察激光在反光镜光靶上偏离程度,同时透过“尾部”调整使激光对准反光镜光靶,若在此过程中因“尾部”的调整导致分光镜遮挡了部分激光,则将Z轴停止上升回到起始处,重新调整“整体”,再次对准反射镜光靶。紧接着再升Z轴,继续调整“尾部”,观察激光在反光镜光靶上偏离程度。重复整个过程,往往几次即可达到准直要求。
  
  renishaw激光干涉仪的使用注意事项
  
  1、仪器必须定人保管,技术组人员专人送检,他人不得随意动用,以防损坏,降低精度。
  
  2、要设置专库存放,环境要求干燥、通风、防震、防雾、防尘、防锈。仪器应保持干燥。各种仪器均不可受压、受冻、受潮或受高温,仪器箱不要靠近火炉或暖气管。
  
  3、对仪器要小心轻放,避免强烈的冲击震动,安置仪器前应检查三脚架的牢固性,整个作业过程中工作人员不得离开仪器,防止意外发生。
  
  4、renishaw激光干涉仪应避免在温度变化大、有风、潮湿环境下测量,此时检测结果将收到很大的影响。
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